IEC EN 62899-503-3 印刷電子 - 第 503-3 部分：質量評估 - 印刷薄膜晶體管接觸電阻的測量方法

EUROLAB 連同其最先進的認可實驗室和專家團隊，在 IEC EN 62899-503-3 測試範圍內提供精確、快速的測試服務。 IEC EN 62899-503-3 指定了一種使用傳輸長度法 (TLM) 測量印刷薄膜晶體管 (TFT) 的接觸電阻的方法。 該方法需要製造測試元件組件 (TEG)，該組件在源極和漏極之間具有不同的通道長度 L。 該方法專為TFT電極接觸的質量評估而設計，適用於確定接觸電阻是否在所需範圍內。

在薄膜晶體管 (TFT) 中，接觸電阻出現在柵極、源極和漏極以及 TFT 半導體層中的接觸界面處。 它降低了施加到源極和漏極的有效電壓，而柵極的接觸電阻可以忽略不計。 因此，接觸電阻的評估可以提供有關印刷 TFT​​ 性能特徵的重要信息。

特別是對於印刷電子產品，接觸電阻隨使用的材料、印刷工藝和時間序列變化而變化，因為界面是由通過增材製造獲得的簡單接觸構成的，而不是通過真空沉積和蝕刻工藝獲得的連接。 因此，印刷TFT的性能受接觸電阻值的影響很大。 因此，接觸電阻的變化被認為是準確解釋印刷 TFT​​ 的性能、壽命和可靠性的關鍵因素。

可以使用多種技術來確定接觸電阻，包括但不限於二爪接觸法、四爪接觸法、六爪接觸法、轉移長度法和掃描探針電位器技術。

傳輸長度法 (TLM) 具有特別實用的優勢，因為供應商可以同時測試與普通基板上的原始印刷 TFT​​ 具有相同結構的獨立器件。 此外，TLM 具有成本效益，因為用戶無需使用昂貴的設備即可測量表觀接觸電阻。 因此，使用 TLM，供應商和用戶可以改變接觸電阻，這是 TFT 作為供應鏈服務的一部分進行可靠性評估的重要參數。

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