ISO 14644-10 潔淨室和相關受控環境 - 按化學濃度分類的表面清潔度

ISO 14644-10 根據化學化合物或元素（包括分子、離子、原子和粒子）的存在情況，定義了潔淨室表面潔淨度的分類系統。 它可以應用於潔淨室和相關受控環境中的所有固體表面，如牆壁、天花板、地板、工作環境、工具、設備和器具。

就 ISO 14644 的這一部分而言，僅考慮粒子的化學性質。 未考慮顆粒的物理特性，ISO 14644 的這一部分未涵蓋污染物與表面之間的相互作用。 ISO 14644 的這一部分不包括污染產生過程及其時間影響（沉積、沉積、老化等）或與過程相關的活動，如運輸和加工。 它也不包括關於確保合規性的統計質量控制技術的指導。

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