ISO 14644-2 潔淨室和相關受控環境 - 通過顆粒濃度監測以提供與空氣潔淨度相關的潔淨室性能的證據

ISO 14644-2 根據測量或影響空氣中顆粒濃度的參數，按顆粒濃度規定了空氣潔淨度相關潔淨室或潔淨區性能監測計劃的最低要求。

ISO 14644-2 不涉及工程系統的振動或一般維護等方面的狀態監測。 它不允許跟踪指定的亞閾值粒徑範圍之外的粒子群，例如 0,1 µm 到 5 µm。 超細顆粒（小於 0,1µm 的顆粒）的濃度將在單獨的標準中討論。

它涵蓋了根據定義的方法執行的測試程序，以確定設備或其組件的性能，並提供了一個計劃，以監控根據定義的方法通過測量獲得的觀察結果，並提供安裝性能的證據。

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