ISO 14644-7 潔淨室和相關受控環境 - 分離裝置(潔淨空氣罩、手套箱、隔離器和微型環境)

材料測試

ISO 14644-7 潔淨室和相關受控環境 - 分離裝置(潔淨空氣罩、手套箱、隔離器和微型環境)

ISO 14644-7 規定了與 ISO 14644-4 和 14644-5 中所述的潔淨室不同的分離器設備的設計、構造、安裝、測試和批准的最低要求。

ISO 14644-7 潔淨室和相關受控環境 - 分離裝置(潔淨空氣罩、手套箱、隔離器和微型環境)

應用 ISO 14644-7 考慮到以下限制:

  • 用戶要求由客戶和供應商商定;
  • 不包括特定於應用程序的要求;
  • 未指定分離裝置設置所涉及的具體過程;
  • 沒有特別考慮消防、安全和其他監管問題;
  • 在適當的情況下,適用國家和地方法規。

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