SEMI F57 用於超純水和液體化學品輸送系統的高純度聚合物材料和組件規範

EUROLAB 實驗室在 SEMI F57 標準範圍內提供測試和合規服務。 本標準規定了適用於在 UPW 分配系統中輸送超純水 (UPW) 的超高純度 (UHP) 聚合物材料和組件的最低性能要求。 有關 UPW 系統的更多信息，請參見 SEMI F61、SEMI F63。

它還為超高壓液體化學品輸送系統 (LCDS) 中使用的聚合物材料和組件的使用提供了建議。 本規範涵蓋的此類分配系統包括批量供應、工廠分配和工藝設備應用。

雖然本規範的要求側重於在高溫下使用 UPW 測試材料和組件，但本規範的用戶可能需要考慮其他適用的化學品，例如苛性鹼和氧化劑。

但是，為每種可能的液體化學流定義多個測試參數超出了本規範的範圍。 但是，本規範並非旨在排除或限制供應商和最終用戶使用 UPW 之外的化學品或其他溫度條件進行測試的可能性，以及設置他們自己的內部限制，而不是本規範中的要求。

本規範側重於聚合物材料和組件的性能和驗證。 在適當的地方提供了確保聚合物材料和組件符合本規範目的的操作要求。

EUROLAB 協助製造商符合 SEMI F57 測試要求。 我們的測試專家以其專業的工作使命和原則，在我們的實驗室為您、我們的製造商和供應商提供最好的服務和受控的測試過程。 由於這些服務，企業可以獲得更有效、高性能和高質量的測試服務，並為客戶提供安全、快速和不間斷的服務。